安徽譜純|性能無(wú)憂(多圖)-電子氣體：

 特種氣體 specialily gas：用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設(shè)備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。目前，國(guó)內(nèi)共有特種氣體生產(chǎn)企業(yè)達(dá)150余家，多數(shù)企業(yè)生產(chǎn)規(guī)模較小。跨國(guó)企業(yè)已經(jīng)在國(guó)內(nèi)投資設(shè)立了眾多合資或獨(dú)資的氣體公司，占國(guó)內(nèi)銷售氣體產(chǎn)品市場(chǎng)份額的70%左右。特種氣體應(yīng)用于國(guó)民經(jīng)濟(jì)的很多行業(yè), 它在電子行業(yè)、石油化工、醫(yī)1藥等各領(lǐng)域發(fā)揮著巨大的作用。我國(guó)特種氣體經(jīng)過(guò)30余年的發(fā)展, 無(wú)論在氣體品種上,還是在數(shù)量上, 都以的速度發(fā)展, 生產(chǎn)的品種基本上滿足了市場(chǎng)的需求。

特種氣體分類：標(biāo)準(zhǔn)氣體嚴(yán)格意義上應(yīng)稱為標(biāo)準(zhǔn)校正氣體，是一種高度均勻， 穩(wěn)定性良好和量值準(zhǔn)確的氣體，可分為單元標(biāo)準(zhǔn)氣體和多元標(biāo)準(zhǔn)氣體，目前標(biāo)準(zhǔn)氣基本 滿足了我國(guó)石油、化工、環(huán)保、傳感器校核等諸多領(lǐng)域的需求，特種標(biāo)準(zhǔn)氣體嚴(yán)格意義上應(yīng)稱為標(biāo)準(zhǔn)校正氣體，是一種高度均勻，穩(wěn)定性良好和量值準(zhǔn)確的氣體，它可以是單一的純氣體或高純氣體，也可以是由多組分氣體配制而成的混合氣體。標(biāo)準(zhǔn)氣體屬于標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)之一，故又稱為氣體標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)。特種氣體在集成電路領(lǐng)域的應(yīng)用：特種氣體是半導(dǎo)體材料制造過(guò)程不可缺少的基硅性支撐材料，處于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的 上游，被稱為半導(dǎo)體的“源”，主要應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝。

特種氣體的儲(chǔ)存注意事項(xiàng)：儲(chǔ)存場(chǎng)地的道路，應(yīng)占整個(gè)場(chǎng)地面積的20%以上。充填容器和空容器需要明確區(qū)分存放。充填容器入庫(kù)前需檢漏，長(zhǎng)期存放的充填高壓容器需要每月復(fù)檢一次，并做記錄。特種氣體的重要性：電子特種氣體決定了集成電路的終良率和可靠性。由于電子氣體用途多，用量大。所以電子氣體也直接決定了 終芯片的良率和可靠性，我國(guó)特種氣體行業(yè)在 2006 年后進(jìn)入快速發(fā)展階段，廣泛應(yīng)用于集成電路、顯示面 板、光伏能源、光纖光纜、新能源汽車(chē)、航空航天、環(huán)保和新興產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域，

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